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泽攸科技自研电子束减速技术取得重要突破

起止日期:2022-11-10

众所周知,扫描电子显微镜是由带负电的电子束作为光源激发样品产生信号,从而实现对界面的微观观测。理论上,越高的电子束发射能量会带来越高的分辨率和图像衬度。但是实际测试过程中并不是发射能量越高越好,高能量的电子束一方面可能损伤样品,另一方面会在导电性较差的样品表面聚集,从而极大影响观测效果。目前比较常用的样品制备手段是利用离子溅射仪对样品进行预处理,散布在样品表面的金离子或者碳离子可以较好改善样品导电性,从而缓解电荷积累对图像质量的影响。这种方案通常不会改变高能电子束对样品表面的损伤,而且会增加样品预处理流程。

      简来说之,食用正常途径不能同样切实保障照相导电性能差的备样的判断率从而解决备样拉伤。

电子束减速模式示意图

图1 网上束减慢速度形式展示图(小图片的来取决于百度一下)

      为解决上述难题,市面上高端扫描电镜通常会配备电子束减速模式。这种技术是在样品台与级靴之间添加一个高压。高能电子从级靴出射后会被这个减速电压减速后再发射到样品上。这样的好处是一方面减小了电子束的穿透深度,减轻了电子束损伤并且更多采集到了样品表面细节,另一方面还对信号电子施加了反向电压,提高了图像的衬度。可谓是兼具了高能电子束的高分辨率优势以及低能电子束的低电荷效应优势。

     日前,泽攸科技ZEM15电镜在电子束减速技术中取得重要进展。话不多说,我们一起来看实拍效果吧。 

15 kV下常规模式拍摄的未喷金硅片表面

图2 15 kV下规范方式影视拍摄的未喷金硅片界面

      未夹杂亦或低夹杂的硅片普通导电性不好,需要对原辅料喷金制样后摄影,亦或主要包括低端电压值摄影。上图主要包括ZEM15常规性机制但是在15kV高端电压值下对未喷金硅片界面进行摄影。自由电荷因素的影响了网络束成相,在髙压下界面细致没有看透。

15 kV下电子束减速模式拍摄的未喷金硅片

图3 15 kV下电子技术束加速运动模式英文拍摄技巧的未喷金硅片

   🍸;   主要采用电子为了满足电子时代发展的需求,束减慢ꦡ速度模型如果在15 kV高压变压器下对同一个图纸通过拍,就能够清楚度观查到图纸表层形貌关键点,硅片表层四棱锥型状的单元式清楚度可以看出。

高倍下的电子束减速模式

图4 高倍下的网上束减慢速度的模式

      在高倍下也能清新仔细观察原辅料从表面细节处。

15 kV常规模式拍摄的药粉表面

图5 15 kV规范化传统模式外景拍摄的药粉外壁

    药粉检样一种导电性偏差的检样,基本可不可以喷金亦或是在低压大电流降格局下观察。上图是15 kV直流电下选用常见格局视频拍摄的未喷金药粉表明。可不可以了解到如果电势相应🔯,图像发现了ꦗ看不清楚,较为严重的影响力了观察结果。

15 kV电子束减速模式下的药粉表面

图6 15 kV電子束减慢速度模式切换下的药粉接触面

  &nb🐎sp;   选择电子设备束减慢💖速度策略后,也可以清晰度检测到药粉图纸漆层关键点。

      实验表面,泽攸科技自研的搭配ZEM15扫描电镜的电子束减速技术可以有效缓解高加速电压下的电荷效应,从而使图片可以同时兼具高加速电压下的分辨率以及低加速电压下的轻电荷效应。

泽攸科技自研电子束减速技术取得重要突破(图7)

双赢棋牌平台:图7:ZEM15台式机扫码电镜

     上文探讨是由泽攸科技开发服务性研发管理的ZEM15台式电脑扫码电镜结束。      ZEM15的网上磁学调整应用机系统性、测探器、电源线路调整调整应用机系统性、4g数字信号搜集调整应用机系统性和工作应用均为泽攸创新科技综合性制造。越来越制造的网上磁学调整应用机系统性来设计,使扫描拍摄拍摄那些图片享有更大的信噪比和可比性度。搭配良好的4g数字信号搜集资源带宽,可以在视频图片帧率下高品重量的不卡体现 试品。只需电脑鼠标就可提交那些工作,需光阑对中等偏上麻烦关键步骤。设备ibms各类高压及调整调整应用机系统性,是当前世上面表面积是较为小的的台式一体机扫描拍摄电镜,有利手机端,安转需非常规环保。

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